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Cu_DT9_Cu疊層材料制備工藝流程

發(fā)布時間：2021-06-24


Cu_DT9_Cu疊層材料制備工藝流程

參考工序

設備名稱

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切割

切片機

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鉆孔

打孔器

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打毛

粗拋

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清洗

超聲清洗機/臭氧清洗機/等離子清洗機

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干燥

真空干燥箱

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熱軋制

輥軋機

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退火

管式爐

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冷軋

輥軋機

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性能檢測

XRD/光學顯微鏡/蠕變測試/TGA

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