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小型等離子清洗機
型號:
PCE-6V
產(chǎn)品概述:
PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術、計算機控制技術、軟件編程技術,采用氣體作為清洗介質,有效地避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內徹底清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
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技術參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
主要特點

? 采用氣體作為清洗介質,避免了因液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。

? 可短時間內徹底清洗掉有機污染物。

? 清洗程度可達到分子級。

? 可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

? 清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。

? 樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。

? 廣泛應用于光學、光電子學、電子學、材料科學、生命科學、高分子科學、生物醫(yī)學、微觀流體學等領域。

參數(shù)

? 電壓:AC220V  10A

? 消耗功率:<500W(包括真空泵)

? RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

? 腔體:Φ190mm×98mm

 PCE-6V.png

? 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm

? 內腔:Φ165mm×55mm

? 清洗電極:Φ120mm

? 樣品臺:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm

? 樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調

? 抽氣管:Φ12mm

? 極限真空度:0.1Pa

? 工作真空度:60Pa-500Pa

? 氣路數(shù)量:2路(選裝)

? 流量控制器數(shù)量:1、2

流量顯示儀:2通道

? 氣路接口:Φ6mm

? 加熱樣品臺:Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

? 冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

? 工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結露,海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

? 加熱樣品臺

? 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2個通道)

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