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Si+Si3N4薄膜
關鍵字:
進口料Silicon Nitride Film (LPCVD) on Silicom Wafer N type doped P
產品概述:
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技術參數(shù)

Si參數(shù):

晶向:

摻雜類型:N型摻P;

電阻率:1-20 ohm-cm

拋光:單拋;

Si3N4參數(shù):

生長方法:low stress LPCVD method

薄膜厚度:1.3um?±5%300?nm??+/-?10%

鍍膜情況:Si3N4 covers both side of Silicon wafer

常規(guī)尺寸

dia4" ±0.5mm x 0.525 ±0.025mm

標準包裝

1000級超凈室100級超凈袋真空包裝、單片盒或插盒

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