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1200℃小型流化床CVD爐(帶1英寸外徑石英管和法蘭,用于粉末CVD)
型號:
OTF-1200X-S-FB
產品概述:
OTF-1200X-S-FB是一款流化床立式管式爐,專門針對粉末表面沉積的CVD實驗,爐管為高純石英管,爐管內部嵌有一多空石英板,石英板的孔徑為5-15um,粉末可放在多空石英板上,氣體可從爐管下端通入,通過多空石英板是樣品顆粒懸浮在加熱區域,進行沉積實驗。
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技術參數產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱型號

· 1200℃小型流化床CVD爐(帶1英寸外徑石英管和法蘭,用于粉末CVD)  OTF-1200X-S-FB


爐體結構

· 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統

· 爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,最大程度的減少能量損失

· 內爐膛表面涂油美國進口1750度高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

· 爐體設計為開啟式,方便更換爐管

· 專門針對粉末表面沉積的CVD實驗


基本參數

· 電源:AC220V 50/60HZ

· 功率:1.2KW

· 最高溫度:1200℃

· 長期工作溫度:1100℃

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 熱電偶:K型

· 加熱區長度:200mm


爐管

· 材質:采用高純特制石英爐管

· 尺寸:兩端φ25mm(中間φ50mm)長度482mm

· 多空石英板孔徑:10-15微米 尺寸:φ22mm*4mm厚

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溫控系統

· 包含一款858型溫度控制器

· PID自動控溫系統

· 智能化30段可編程控制

· 默認DB9 PC通信連接端口

· 通過MET認證


不銹鋼密封系統

· 上端法蘭安裝了一個φ6.35的卡套接頭作為出氣口使用,一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷,安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表用于觀察爐管內壓力,一個鎧裝接口為備用接口

· 下端法蘭上的一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用。一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷


真空系統(選配)

· 采用雙旋片式機械泵真空度可以達到10-2toor

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor 或更高)可選購國產或進口高真空機組

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設備外形尺寸

· 340mm(L)*300mm(W)*1300mm(H)(長度包含爐管與法蘭)


重量

· 約20KG


質保

· 一年質保期,終生維護

· 特別提示:

1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內



使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向石英管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題,本公司概不負責。


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