| 設(shè)備結(jié)構(gòu) | ·三溫區(qū)立式加熱爐，最高溫度1100℃ ·配有高純石墨坩堝和石墨樣品臺 ·腔室頂蓋自動打開，位于手套箱內(nèi)，方便樣品和支架更換 ·手套箱內(nèi)部裝有自動移動架和大型轉(zhuǎn)移室自動門，便于樣品更換和放置 |
| 電源要求 | ·單相AC 220V 50/60HZ ·最大功率6 kW |
| 加熱元件 | ·電阻絲 |
| 工作溫度 | ·最高工作溫度：1100oC (< 1 hr.) ·連續(xù)工作溫度1000oC ·建議升溫速率≤10°C/min |
| 加熱區(qū) | ·150mm+200mm+150mm (3個(gè)加熱區(qū)獨(dú)立控制) ·恒溫區(qū)長度: ≥ 170mm ·恒溫區(qū)中的溫度均勻性: 400-600°C ±3°C 600-900°C ±0.5°C |
| 晶體生長 | ·最大基材尺寸：≤60*60mm ·每批基板數(shù)量：≤3片 ·上拉機(jī)構(gòu)行程：100mm ·上拉速度范圍：0.05mm/h -10mm/h ·拉桿旋轉(zhuǎn)速度范圍：1-10rpm |
| 高壓腔體 | ·SS304不銹鋼 ·腔室尺寸：φ370mm（外腔）*φ350mm（內(nèi)腔）*1200mm ·最大壓力：1.2 MPa（≤700℃） ·流動氣氛下恒壓控制，壓力控制精度：±1% ·進(jìn)氣口配有質(zhì)量流量控制器，進(jìn)氣流量計(jì)量程：1000sccm ·壓力傳感器安裝在腔室頂蓋上，實(shí)時(shí)監(jiān)測內(nèi)部壓力變化 ·電磁安全閥與機(jī)械安全閥雙重安全保護(hù) |
| 手套箱系統(tǒng) | ·電源：220VAC， 50/60Hz，單相 ·功率:2KW ·腔室材料：304不銹鋼 ·前后開口鋼化安全玻璃窗設(shè)計(jì) ·有效內(nèi)部尺寸：1200*800*1200mm（長*寬*高） ·在手套箱箱體頂部安裝滑動料盤接口：機(jī)箱背面有4個(gè)KF40接口 ·2個(gè)過渡倉： ·大過渡倉尺寸：Φ360mm ID ×長度600mm ·小過渡倉尺寸：Φ150mm ID ×長度300mm ·滑動托盤內(nèi)安裝有大型自動門傳送室 ·最大真空度：100Pa ·丁基橡膠手套尺寸：Φ203mm × 813mm ·循環(huán)工作氣體：N2、Ar、He ·鼓風(fēng)量：90m3/h ·觸摸屏PLC控制，自動再生 ·再生氣體：混合氫氣的工作氣體（氫氣5%-10%） ·標(biāo)配240L/min抽速雙極旋片機(jī)械泵，泵出口處安裝油霧過濾器 |
| 溫度和壓力控制系統(tǒng) | ·PID自動溫度控制系統(tǒng) ·溫度控制精度：±0.1°C ·熱電偶：K型 ·觸摸屏控制三個(gè)獨(dú)立的溫度區(qū)域控制器 ·加熱曲線可以在觸摸屏上查看，保存和導(dǎo)出 ·壓力可以在觸摸屏上設(shè)置 ·內(nèi)腔壓力實(shí)時(shí)顯示 ·真空泵和真空閥可通過觸摸屏控制 |
| 真空系統(tǒng) | ·泵送速率：6l /S ·極限壓力：4*10-1Pa（無負(fù)載，僅機(jī)械泵） ·額定功率：1500w |
| 產(chǎn)品尺寸 | ·泵送速率：6l /S ·極限壓力：4*10-1Pa（無負(fù)載，僅機(jī)械泵） ·額定功率：1500w |
| 產(chǎn)品重量 | ·~500kg |
| 應(yīng)用注意 | ·本設(shè)備正常工作溫度可達(dá)1000℃，最大壓力1.2MPa（高純氬氣環(huán)境下）。操作時(shí)請勿超過溫度或壓力限制 ·不要引入腐蝕性氣體，如氯化物或硫化物，因?yàn)樗鼈兛赡軗p壞組件 ·待爐溫恢復(fù)到室溫后再打開爐蓋。樣品可能仍處于高溫狀態(tài)，請小心操作，并使用手套或其他工具 |
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